您的位置：
LAM796-055344-005
特點
流量范圍：3 slpm （去離子水蒸汽）
具有超高流量精度的直接水蒸汽測量
能直接連接到廠房去離子水供應系統
在較低溫度下可操作（非過熱狀態）
沖刷和排水的優化設計
EtherCAT數字通訊
Brooks Expert Support Tool (BEST)圖形用戶界面
優勢
采用了成熟可靠的熱式質量流量測量和控制技術
適用于各種FAB去離子水供水的壓力
接液件耐腐蝕性能增強
確保更清潔的操作
可匹配各種設備的模擬或數字通訊接口
直接用戶界面可增強數據收集或故障排查
應用
硅材料半導體金屬刻蝕后段工藝
硅材料半導體金屬剝離工藝
在負大氣壓的環境中超高純加濕
美國BROOKS布魯克斯5850E氣體流量計 美國MKSDLT4B-34749氣化機器MFVC-33167流量校準計MFVC-29886
深圳市天鉉真空技術有限公司
Coastal Instruments 成立于1980年，是國內專業的流量計服務商。致力于進口質量流量計、壓力傳感器等壓力測量器件的校準、維修及銷售服務。其技術*、高可靠性及誠信使其成為行業的，是專業的MFC技術服務商。
深圳市天鉉真空技術有限公司 專門經營進口氣體質量流量計銷售，全套校準，一年質保期。
本公司專業銷售質量流量計近40年，具有豐富的銷售和售后服務經驗，我們有專業的服務團隊和專業工程師對產品進行跟蹤服務。
具體產品參數，價格請詢價
本公司主要經營的品牌有：
HORIBA
MKS
BROOKS
UNIT
AERA
MKS
MYKROLIS
MILLIPORE
SAM
STEC
BRONKHORST
美國BROOKS布魯克斯5850E進口氣體流量計
BROOKS 5850E 5851E SLA5850S SLA5851S SLA5853S 5850S 5851S 5853S GF120CXXC GF125CXXC GF100CXXC
HORIBA IV-2410AV-03/3030-10059噴射閥
七星華創流量計D07-7B氬氣100sccm***深圳市天鉉真空技術有限公司
Fil-tech G8136P/1美國FIL-TECH 離子規真空規
Fil-tech品牌以下產品都可預訂，歡迎咨詢
3300002 G75PT; 7631-0001-0002 G75KT;
AMAT0190-51152噴射閥HORIBAIV-2401AV-02h
UE壓力開關 E48W-H76 E48W-H77 PV48W-17 P36W-17/04-716704-01
美國FIL-TECH 對流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/101GG
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