深圳市天鉉真空技術有限公司專業維修銷售真空泵,分子泵,半導體激光器,流量計,真空計,AMAT半導體配件
等外延設備翻新維修
優勢
? 基于PTS(Pressure,Temperature,Space)的壓力傳感技術
? 基于AI的壓力控制技術
? 全金屬耐腐蝕技術
? 高準確度及高可靠性
技術參數
型號 | PC100 |
壓力類型 | 絕壓 |
控制壓力的滿量程 | 1000Torr、1200mbar |
耐壓 | 3MPa |
閥口滿量程流量 | 2、3、5SLM |
控制方式 | 上游 |
溫度系數 | Zero:±0.02% of F.S./℃;Span:±0.04% of Reading/℃ |
壓力分辨率 | 0.1 Torr |
壓力控制精度 | ±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
響應時間 | < 1.0 S |
工作溫度范圍 | 10 ℃ ~ 50 ℃ |
機械接口 | 雙卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 陽接頭 |
閥類型 | 常閉 |
外漏 | < 1 x 10-10(scc/sec He) |
內漏 | < 1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關閉時,進氣端為25 psig,出氣端為大氣) |
供電電源 | +15 ~ +24 VDC(< 4 watts) |
電氣接口 | DB-9針 |
,拍前請聯系店主,
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